在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向高密度、高集成度的關(guān)鍵階段，晶圓制造、芯片封測(cè)、光刻顯影等核心工藝對(duì)溫度控制的精度、穩(wěn)定性及響應(yīng)速度提出了近乎苛刻的要求。溫度的細(xì)微波動(dòng)可能導(dǎo)致線路刻蝕偏差、封裝良率下降，甚至引發(fā)芯片性能失效。拓米洛（TOMILO）深耕工業(yè)溫控設(shè)備領(lǐng)域十余載，以半導(dǎo)體行業(yè)需求為核心導(dǎo)向，打造系列高性能半導(dǎo)體冷水機(jī)，憑借“精準(zhǔn)控溫、穩(wěn)定運(yùn)行、靈活適配”的核心優(yōu)勢(shì)，成為眾多半導(dǎo)體企業(yè)研發(fā)與量產(chǎn)環(huán)節(jié)的信賴合作伙伴，為芯片智造筑牢溫控防線。
錨定半導(dǎo)體核心痛點(diǎn)，全場(chǎng)景適配精準(zhǔn)溫控需求
半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜，不同工藝環(huán)節(jié)的溫控需求呈現(xiàn)顯著差異：晶圓蝕刻需-40℃的低溫環(huán)境保障刻蝕精度，芯片封測(cè)需50-80℃的恒溫環(huán)境實(shí)現(xiàn)膠體固化，而光刻設(shè)備則需±0.1℃的精準(zhǔn)溫控維持光學(xué)系統(tǒng)穩(wěn)定性。拓米洛深刻洞察行業(yè)痛點(diǎn)，其半導(dǎo)體冷水機(jī)并非通用型溫控設(shè)備，而是針對(duì)半導(dǎo)體工藝特性定制研發(fā)。
從實(shí)驗(yàn)室的小批量研發(fā)測(cè)試，到晶圓廠的大規(guī)模量產(chǎn)線，再到封測(cè)企業(yè)的多工位并行作業(yè)，拓米洛半導(dǎo)體冷水機(jī)均能精準(zhǔn)適配。無(wú)論是為光刻機(jī)、離子注入機(jī)等核心設(shè)備提供配套冷卻，還是為芯片可靠性測(cè)試搭建溫控環(huán)境，亦或是為晶圓清洗、薄膜沉積等工藝提供恒溫介質(zhì)，設(shè)備都能實(shí)現(xiàn)全流程溫控覆蓋，完美契合半導(dǎo)體行業(yè)“高精度、高穩(wěn)定性、高潔凈度”的核心要求。
硬核技術(shù)加持，鑄就半導(dǎo)體級(jí)溫控標(biāo)桿
作為專注半導(dǎo)體冷水機(jī)研發(fā)的專業(yè)廠家，拓米洛以技術(shù)創(chuàng)新為核心驅(qū)動(dòng)力，整合多年溫控經(jīng)驗(yàn)與行業(yè)前沿技術(shù)，打造三大核心競(jìng)爭(zhēng)力，彰顯半導(dǎo)體級(jí)產(chǎn)品實(shí)力：
1. 極致控溫精度，把控工藝核心命脈
拓米洛半導(dǎo)體冷水機(jī)搭載自主研發(fā)的PID+模糊控制算法，配合進(jìn)口高精度鉑電阻傳感器（精度達(dá)0.01℃），實(shí)現(xiàn)溫度控制范圍-40℃~100℃的寬域覆蓋，控制精度穩(wěn)定在±0.5℃，部分高端型號(hào)可達(dá)到±0.1℃，完全滿足光刻、蝕刻等精密工藝的溫控需求。冷卻介質(zhì)選用食品級(jí)乙二醇防凍液（冰點(diǎn)≤-45℃），兼具低溫抗凍性與化學(xué)穩(wěn)定性，避免介質(zhì)變質(zhì)污染工藝環(huán)境。同時(shí)，設(shè)備采用多通道獨(dú)立溫控設(shè)計(jì)，最多支持8通道同步運(yùn)行，各通道溫度、流量可獨(dú)立調(diào)節(jié)，適配多工位、多工藝并行測(cè)試場(chǎng)景。
2. 精準(zhǔn)流壓控制，保障工藝穩(wěn)定運(yùn)行
針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)冷卻介質(zhì)流量、壓力的嚴(yán)苛要求，拓米洛半導(dǎo)體冷水機(jī)配備進(jìn)口變頻水泵與高精度流量傳感器，流量控制范圍1-20L/min，控制精度±0.2L/min，顯示精度0.01L/min，可根據(jù)設(shè)備負(fù)載動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)流量，避免流量波動(dòng)導(dǎo)致的設(shè)備過(guò)熱或工藝偏差。壓力控制范圍0~250kPa，控制精度±2kPa，通過(guò)壓力閉環(huán)反饋系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)，確保冷卻回路壓力穩(wěn)定，防止因壓力異常引發(fā)的設(shè)備故障。
3. 穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)，適配工業(yè)級(jí)連續(xù)運(yùn)行
設(shè)備采用緊湊化內(nèi)部布局，在節(jié)省車間占地面積的同時(shí)，優(yōu)化散熱風(fēng)道與制冷回路設(shè)計(jì)，搭配歐美進(jìn)口高效率渦旋式壓縮機(jī)與低噪音風(fēng)機(jī)，確保設(shè)備在24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行工況下仍能保持穩(wěn)定性能，平均無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間（MTBF）超20000小時(shí)。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)潔凈需求，設(shè)備采用全封閉不銹鋼箱體與食品級(jí)密封件，防止介質(zhì)泄漏與外界粉塵侵入，箱體表面經(jīng)過(guò)防靜電處理，適配半導(dǎo)體車間ESD防護(hù)要求。此外，設(shè)備集成防爆測(cè)試柜與多重安全保護(hù)機(jī)制（高低溫保護(hù)、高低壓保護(hù)、漏電保護(hù)、低液位報(bào)警等），完全符合半導(dǎo)體行業(yè)安全規(guī)范。
4. 智能互聯(lián)設(shè)計(jì)，賦能數(shù)字化生產(chǎn)
為適配半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型需求，拓米洛半導(dǎo)體冷水機(jī)配備CAN/RS485/RS232/LAN等多種通訊接口，可與車間MES系統(tǒng)、設(shè)備上位機(jī)無(wú)縫聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制、參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控與數(shù)據(jù)自動(dòng)采集。設(shè)備支持編制30條測(cè)試程序，每條程序可設(shè)置40段步驟，線性與非線性控溫模式可選，滿足復(fù)雜工藝的溫控流程需求。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)可自動(dòng)記錄溫濕度曲線、流量壓力曲線及報(bào)警信息，支持USB3.0接口快速導(dǎo)出，為工藝優(yōu)化與質(zhì)量追溯提供完整數(shù)據(jù)支撐。
全鏈條服務(wù)保障，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級(jí)
除了高品質(zhì)的產(chǎn)品，拓米洛作為負(fù)責(zé)任的半導(dǎo)體冷水機(jī)廠家，還構(gòu)建了全生命周期服務(wù)體系。全國(guó)服務(wù)熱線400-101-2850全天候響應(yīng)，專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)從需求溝通、方案定制、現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試，到后期維護(hù)保養(yǎng)、技術(shù)升級(jí)、備件供應(yīng)，全程一對(duì)一跟進(jìn)。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)特殊工藝需求，拓米洛可提供定制化解決方案，例如根據(jù)設(shè)備尺寸定制箱體結(jié)構(gòu)、根據(jù)工藝要求開(kāi)發(fā)專用控溫程序、配套自動(dòng)加液與介質(zhì)回收系統(tǒng)等。
憑借穩(wěn)定的性能、精準(zhǔn)的控溫與專業(yè)的服務(wù)，拓米洛半導(dǎo)體冷水機(jī)已廣泛應(yīng)用于中芯國(guó)際、長(zhǎng)電科技、華為海思等知名半導(dǎo)體企業(yè)的生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)節(jié)，覆蓋晶圓制造、芯片封測(cè)、半導(dǎo)體設(shè)備配套等全產(chǎn)業(yè)鏈。未來(lái)，拓米洛將持續(xù)深耕半導(dǎo)體溫控領(lǐng)域，緊跟3nm及以下先進(jìn)制程的技術(shù)趨勢(shì)，研發(fā)更精準(zhǔn)、更智能、更節(jié)能的半導(dǎo)體冷水機(jī)產(chǎn)品，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破技術(shù)瓶頸、實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。
